К экскурсиям
Производство оборудования для микроэлектроники НИИТМ
Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
В рамках экскурсии участники познакомятся с институтом, его историей и правилами поведения на производстве. Гости посетят сборочный цех, где узнают об этапах электронного машиностроения и увидят установку ионной имплантации. В электромонтажном цехе экскурсантам покажут шкафы управления и рабочие места электромонтажников. В сборочном цехе продемонстрируют текущие проекты, установки магнетронного напыления и быстрого термического отжига, а также кремниевые пластины. В отделе технического контроля посетители познакомятся с работой инженеров и увидят процесс контроля параметров пластин.
Программа
– Инструктаж по технике безопасности, знакомство с историей института;
– Посещение сборочного цеха № 208 (этапы производства, установка ионной имплантации);
– Посещение электромонтажного цеха (шкафы управления, рабочие места электромонтажников);
– Посещение сборочного цеха № 201 (проекты, установки магнетронного напыления и термического отжига, кремниевые пластины);
– Посещение отдела технического контроля (работа инженеров ОТК, контроль параметров пластин).
АО НИИТМ — научно-исследовательский институт, специализирующийся на разработке и производстве оборудования для микроэлектроники, нанотехнологий и вакуумных систем. Входит в Группу компаний «Элемент». Институт работает более 60 лет. Производит плазмохимическое, напылительное, эпитаксиальное и другое вакуумное оборудование для производства интегральных схем и полупроводниковых пластин диаметром 200 мм, совместимой с диаметрами 100 и 150 мм. Является единственным в России разработчиком кластерных комплексов и установок для обработки пластин диаметром 300 мм.
